상세정보
등록 반도체 소자 및 이의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2016-0018998 (2016.02.18) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0097807 (2017.08.29)
- 등록번호
- 10-2298440-0000 (2021.08.31)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 15ZB1400, ESSOP CUBE 기술 기반 차세대 레이더 3D 모듈 개발, 이진호
- 초록
- 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자는 기판 상에 제공된 제1 반도체층, 상기 제1 반도체층 상에 제공된 제2 반도체층, 상기 제2 반도체층 상에 제공된 게이트 전극, 상기 제2 반도체층 상에 제공되며 제1 유전 상수를 가지는 저유전층, 상기 제2 반도체층 상에 제공되며 상기 제2 유전 상수보다 큰 제2 유전 상수를 가지는 고유전층, 및 상기 제2 반도체층 상에 상기 게이트 전극과 이격되어 형성된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다. 상기 게이트 전극, 상기 고유전층, 상기 저유전층은 동일 평면 상에 제공된다.
- KSP 제안 키워드
- semiconductor device