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상세정보

등록 고신뢰성 전계효과 전력소자

고신뢰성 전계효과 전력소자
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발명자
이종민, 윤형섭, 민병규, 임종원, 김성일, 김해천, 안호균, 조규준, 도재원, 정현욱, 김동영, 이상흥, 주철원, 강동민
출원번호
15238492 (2016.08.16)
공개번호
20170133471 (2017.05.11)
등록번호
9780176 (2017.10.03)
출원국
미국
협약과제
14PB5600, SW기반 디지털 무선통신용 핵심 모듈 및 트랜시버 개발, 윤형섭
초록
The present invention relates to a high reliability field effect power device and a manufacturing method thereof. A method of manufacturing a field effect power device includes sequentially forming a transfer layer, a buffer layer, a barrier layer and a passivation layer on a substrate, patterning the passivation layer by etching a first region of the passivation layer, and forming at least one electrode on the first region of the barrier layer exposed by patterning the passivation layer, wherein the first region is provided to form the at least one electrode, and the passivation layer may include a material having a wider bandgap than the barrier layer to prevent a trapping effect and a leakage current of the field effect power device.
KSP 제안 키워드
Barrier layers, Buffer layer, High Reliability, Leakage current, Manufacturing method, Power device, Transfer layer, Trapping effects, field effect, passivation layer
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법 대한민국 KIPRIS