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Registered 투명전도성산화물 박막의 제조 방법
- Application No.
- 10-2016-0067550 (2016.05.31) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0053555 (2017.05.16)
- Registration No.
- 10-2404922-0000 (2022.05.30)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 본 발명의 실시예에 따른 투명전도성산화물 박막의 제조 방법은, 제1 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 제2 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 상기 제1 폴리머 용액과 상기 제2 폴리머 용액을 혼합한 제3 폴리머 용액을 형성하는 단계와, 상기 제3 폴리머 용액을 기판 상에 코팅하는 단계와, 상기 기판을 건조시켜 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계, 및 수소 플라즈마 처리 공정을 통해 상기 박막의 표면 처리를 실시하는 단계를 포함할 수 있다.
- KSP Keywords
- Conductive oxide, Fabrication method, Oxide thin films, Transparent conductive, thin film(TF), transparent conductive oxide