상세정보
등록 투명전도성산화물 박막의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2016-0067550 (2016.05.31) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0053555 (2017.05.16)
- 등록번호
- 10-2404922-0000 (2022.05.30)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명의 실시예에 따른 투명전도성산화물 박막의 제조 방법은, 제1 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 제2 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 상기 제1 폴리머 용액과 상기 제2 폴리머 용액을 혼합한 제3 폴리머 용액을 형성하는 단계와, 상기 제3 폴리머 용액을 기판 상에 코팅하는 단계와, 상기 기판을 건조시켜 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계, 및 수소 플라즈마 처리 공정을 통해 상기 박막의 표면 처리를 실시하는 단계를 포함할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Conductive oxide, Fabrication method, Oxide thin films, Transparent conductive, thin film(TF), transparent conductive oxide