본 발명은 열전 소자를 제공한다. 열전 소자는 서로 대향되는 상부 기판과 하부 기판; 및 상기 상부 기판과 하부 기판 사이에 배치된 열전 변환부를 포함하고, 상기 열전 변환부는: 상기 하부 기판 상의 제1 전극; 상기 하부 기판 상에서 상기 제1 전극으로부터 제1 방향으로 이격 배치되는 제2 전극; 상기 하부 기판 상에서 상기 제1 및 제2 전극들로부터 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이격 배치되는 제3 전극; 상기 제1 전극과 상기 제3 전극 사이에 배치되어, 상기 제1 전극과 상기 제3 전극에 연결되는 제1 열전 부재; 및 상기 제2 전극과 상기 제3 전극 사이에 배치되고, 상기 제2 전극과 상기 제3 전극에 연결되는 제2 열전 부재를 포함하고, 상기 하부 기판은 그의 내부를 관통하는 제1 하부 개구를 갖되, 상기 제1 하부 개구는 상기 제3 전극을 노출한다.
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Thermoelectric device
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J. Kim et. al, "Trends in Lightweight Kernel for Many core Based High-Performance Computing", Electronics and Telecommunications Trends. Vol. 32, No. 4, 2017, KOGL Type 4: Source Indication + Commercial Use Prohibition + Change Prohibition
J. Sim et.al, “the Fourth Industrial Revolution and ICT – IDX Strategy for leading the Fourth Industrial Revolution”, ETRI Insight, 2017, KOGL Type 4: Source Indication + Commercial Use Prohibition + Change Prohibition
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