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Registered 박막 히터 집적 파장가변 분포 궤환형 레이저 다이오드
- Application No.
- 10-2016-0065754 (2016.05.27) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0055902 (2017.05.22)
- Registration No.
- 10-2642580-0000 (2024.02.26)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 15ZE1100, ETRI 창의연구실 사업, Jung Sung Young
- Abstract
- 본 발명은 박막 히터가 집적된 파장가변 분포 궤환형(distributed feedback; 이하, DFB) 레이저 다이오드에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의한 박막 히터 집적 파장가변 분포 궤환형 레이저 다이오드는, 기판과, 상기 기판 상에 적층된 하부 클래드층, 회절격자, 활성층, 상부 클래드층, 오믹층, 상부 전극 및 절연층과, 상기 절연층 상에 위치되는 발열 영역을 포함한 박막 히터를 포함하며, 상기 회절격자의 길이가 활성층 도파로의 길이보다 작게 형성되고, 상기 박막 히터의 발열 영역의 길이가 상기 회절격자가 배치되는 회절격자 영역의 길이 이상인 것을 특징으로 한다.
- KSP Keywords
- Distributed feedback, Distributed feedback laser diode, Distributed feedback lasers(DFBs), Laser diode(LD), film heaters, thin film(TF), thin film heater