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Registered 불순물 주입 장치 및 이를 이용한 N형 반도체 다이아몬드의 형성방법
- Application No.
- 10-2016-0019715 (2016.02.19) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0097961 (2017.08.29)
- Registration No.
- 10-2374639-0000 (2022.03.10)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 불순물 주입 장치는 그 내부에 제공된 고체 물질을 승화시켜 소스 가스를 형성하는 소스부, 상기 소스부로부터 이송된 상기 소스 가스를 해리하는 가열부, 및 상기 해리된 소스 가스를 대상막 상으로 분사하는 토출부를 포함한다. 상기 토출부는 제1 홀들을 포함하는 제1 분사 유닛, 및 제2 홀들을 포함하고 상기 제1 분사 유닛과 중첩하도록 제공되는 제2 분사 유닛을 포함한다. 상기 해리된 소스 가스는 상기 제1 홀들 및 상기 제2 홀들을 통해 상기 대상막 상으로 분사되고, 상기 제1 분사 유닛이 회전함에 따라 상기 해리된 소스 가스의 분사량이 제어된다.
- KSP Keywords
- N-type