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Registered FIELD EMISSION DEVICE AND X-RAY EMISSION SOURCE HAVING THE SAME

전계 방출 소자 및 이를 구비하는 엑스선 방출원
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Inventors
Yoon-Ho Song, Shin Min Sik, Jeong Jin-Woo, Park Sora, Jeon Hyo Jin, Kang Jun Tae, Choi Young Chul
Application No.
10-2016-0089329 (2016.07.14) KIPRIS
Publication No.
10-2017-0089387 (2017.08.03)
Registration No.
10-2341688-0000 (2021.12.16)
Country
KOREA
Abstract
전계 방출 소자는 캐소드 전극; 상기 캐소드 전극과 전기적으로 연결되고, 전자빔을 방출하는 적어도 하나의 에미터; 상기 캐소드 전극 및 상기 에미터와 이격되어 배치되고, 상기 전자빔을 가속시키는 애노드 전극; 상기 캐소드 전극 및 상기 애노드 전극 사이에 배치되고, 상기 전자빔을 통과시키는 적어도 하나의 게이트 홀을 구비하는 게이트 전극; 및 상기 게이트 전극의 상기 캐소드 전극에 마주하는 면에 부착되고, 상기 게이트 홀을 커버하는 전자 투과성 도전체를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 전자 투과성 도전체는 도전성 물질을 포함하여 상기 캐소드 전극 및 상기 게이트 전극 사이에 형성되는 전계의 등전위선들의 변형을 방지하고, 상기 에미터에서 방출된 전자를 투과시킬 수 있다.
KSP Keywords
Emission source, X-Ray emission, field emission, field emission device, x-ray