ETRI-Knowledge Sharing Plaform

KOREAN
특허 검색
Status Country
Year ~ Keyword

Detail

Registered A SEMICONDUCTOR DEVICE AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

반도체 소자 및 그의 제조 방법
이미지 확대
Inventors
Park Kun Sik, Won Jong Il, Kim Sang Gi, Yoo Seong Wook, Roh Tae Moon, Koo Jin-Gun, Park Jong-Moon
Application No.
10-2016-0086269 (2016.07.07) KIPRIS
Publication No.
10-2018-0006541 (2018.01.18)
Registration No.
10-2572194-0000 (2023.08.24)
Country
KOREA
Project Code
16ZB1600, Development of SiC based trench type next generation power device, Kim Sang Gi
Abstract
기판 상에 에피층을 형성하는 것, 상기 에피층 상에 평면적 관점에서 일 방향으로 연장되는 바 형상의 제 1 마스크를 형성하는 것, 상기 에피층에 이온 주입 공정을 수행하여 바디 영역을 형성하는 것, 상기 에피층 상에 배치되는 제 2 마스크 및 상기 제 1 마스크의 측면을 덮는 스페이서를 형성하는 것, 상기 제 2 마스크 및 상기 스페이서에 의해 노출되는 상기 바디 영역에 도펀트를 주입하여 소스 영역들을 형성하는 것, 상기 제 1 및 제 2 마스크들과 상기 스페이서를 제거하는 것, 및 상기 드리프트 영역 상에 게이트 절연막 및 게이트를 형성하는 것을 포함하는 반도체 소자의 제조 방법을 제공하되, 상기 바디 영역에 의해 상기 바디 영역의 사이는 드리프트 영역으로 정의되고, 상기 제 2 마스크 및 상기 스페이서에 의해 노출되는 상기 바디 영역의 일부는 상기 제 1 마스크의 양측에 제공되며, 상기 일 방향으로 연장되고, 상기 제 2 마스크는 상기 제 1 마스크의 상기 일 방향의 일단을 덮을 수 있다.