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Detail
Registered A METHOD FOR MANUFACTURING A MULTI-CHANNEL LIGHT SOURCE
- Inventors
- Lee Dong-Hun, Han Young-Tak, Lee Dong Hyo, Baek Yongsoon, Shin Jang Uk, Park Sang Ho
- Application No.
- 10-2017-0004371 (2017.01.11) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2018-0083029 (2018.07.20)
- Registration No.
- 10-2442202-0000 (2022.09.05)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 15MB2500, Development of a compact TOSA for client-side transceiver, Baek Yongsoon
- Abstract
- 기판 상에 제 1 도파로층 및 상기 제 1 도파로층과 광결합되는 제 2 도파로층을 형성하는 것, 상기 제 1 및 제 2 도파로층들 상에 제 1 클래드층 및 오믹층을 적층하는 것, 상기 오믹층 상에 상기 제 1 도파로층을 덮고 상기 제 2 도파로층 상으로 연장되는 식각 마스크를 형성하는 것, 상기 식각 마스크와 상기 제 2 도파로층 사이의 상기 오믹층 일부를 식각하여, 상기 식각 마스크의 하면을 노출시키는 언더컷을 형성하는 것, 상기 제 2 도파로층 상의 상기 제 1 클래드층을 제거하는 것, 및 상기 제 2 도파로층 상에 제 2 클래드층을 형성하는 것을 포함하는 다채널 광원의 제조 방법을 제공하되, 상기 제 2 클래드층의 상면은 상기 오믹층의 상면과 공면을 이룰 수 있다.