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등록 다채널 광원의 제조 방법

다채널 광원의 제조 방법
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발명자
이동훈, 신장욱, 이동효, 한영탁, 박상호, 백용순
출원번호
10-2017-0004371 (2017.01.11) KIPRIS
공개번호
10-2018-0083029 (2018.07.20)
등록번호
10-2442202-0000 (2022.09.05)
출원국
대한민국
협약과제
15MB2500, 초소형 100G 클라이언트 트랜시버용 TOSA 개발, 백용순
초록
기판 상에 제 1 도파로층 및 상기 제 1 도파로층과 광결합되는 제 2 도파로층을 형성하는 것, 상기 제 1 및 제 2 도파로층들 상에 제 1 클래드층 및 오믹층을 적층하는 것, 상기 오믹층 상에 상기 제 1 도파로층을 덮고 상기 제 2 도파로층 상으로 연장되는 식각 마스크를 형성하는 것, 상기 식각 마스크와 상기 제 2 도파로층 사이의 상기 오믹층 일부를 식각하여, 상기 식각 마스크의 하면을 노출시키는 언더컷을 형성하는 것, 상기 제 2 도파로층 상의 상기 제 1 클래드층을 제거하는 것, 및 상기 제 2 도파로층 상에 제 2 클래드층을 형성하는 것을 포함하는 다채널 광원의 제조 방법을 제공하되, 상기 제 2 클래드층의 상면은 상기 오믹층의 상면과 공면을 이룰 수 있다.
KSP 제안 키워드
Light sources, multi-channel