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Registered MANUFACTURING METHOD OF TRANSPARENT ELECTRODE
- Inventors
- Sun Jin Yun, Lim Jungwook
- Application No.
- 10-2017-0000866 (2017.01.03) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2018-0025785 (2018.03.09)
- Registration No.
- 10-2442207-0000 (2022.09.05)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 16MB1300, Fundamental technologies of two-dimensional materials and devices for the platform of new-functional smart devices, Sun Jin Yun
- Abstract
- 본 발명은 투명전극 제조 방법에 관한 것으로, 적어도 하나의 원자층 증착 모듈을 포함하는, 롤-투-롤(Roll-to-Roll) 방식의 투명전극 제조장치를 이용한 투명전극 제조 방법에 있어서, 제 1 원자층 증착 공정을 수행하여 유연기판의 제 1 면 및 상기 제 1 면과 대향하는 제 2 면 상에 제 1 보호막 및 제 2 보호막을 각각 형성하는 것, 제 2 원자층 증착 공정을 수행하여 상기 제 1 보호막 상에 제 1 산화막을 형성하는 것, 상기 제 1 산화막 상에 금속막을 형성하는 것, 및 제 2 산화막을 형성하는 것을 포함하고, 상기 제 1 원자층 증착 공정 및 상기 제 2 원자층 증착 공정을 수행하는 것의 각각은 상기 적어도 하나의 원자층 증착 모듈을 이용하는 것을 포함하는 투명전극 제조 방법이 제공된다.
- KSP Keywords
- Manufacturing method, roll-to-roll, transparent electrode