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Registered 광 스위치의 제조방법 및 그의 구조
- Application No.
- 10-2017-0105031 (2017.08.18) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2018-0058619 (2018.06.01)
- Registration No.
- 10-2253397-0000 (2021.05.12)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 본 발명은 광 스위치의 제조방법을 개시한다. 그의 방법은 기판 상에 하부 클래드 층을 형성하는 단계와, 상기 하부 클래드 층 상에 제 1 및 제 2 도파로들을 형성하는 단계와, 상기 제 1 및 제 2 도파로들 사이의 제 1 및 제 2 열전 레그들을 갖는 열전 소자를 형성하는 단계와, 상기 제 1 및 제 2 도파로들, 상기 열전 소자 그리고 상기 하부 클래드 층의 일부 상에 상부 클래드 층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 제 1 및 제 2 도파로들을 형성하는 단계는, 상기 하부 클래드 층 상에 실리콘 층을 형성하는 단계와 상기 실리콘 층을 식각하여 상기 제 1 및 제 2 도파로들과, 상기 제 1 및 제 2 열전 레그들의 예비 열전 레그들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.