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Registered 광 검출 소자 및 그의 제조 방법
- Application No.
- 10-2017-0027953 (2017.03.03) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2018-0046339 (2018.05.08)
- Registration No.
- 10-2357012-0000 (2022.01.25)
- Country
- KOREA
- Abstract
- 본 발명은 광 검출 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 광 검출 소자는 기판; 상기 기판 상의 제1 절연 층; 상기 제1 절연 층 상의 제1 다결정 실리콘 층; 상기 제1 다결정 실리콘 층 상에 위치되고, 상기 제1 다결정 실리콘 층을 노출시키는 제1 개구부를 포함하는 제2 절연 층; 상기 제1 개구부 내에서, 상기 제1 다결정 실리콘 층 상에 위치되는 다결정 게르마늄 층; 및 상기 제1 개구부 내에서, 상기 다결정 게르마늄 층 상에 위치되고, 상기 제1 다결정 실리콘 층과 상이한 제2 다결정 실리콘 층을 포함할 수 있다.