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등록 실 형태의 나노 물질을 이용한 에미터 어레이 제작 방법

실 형태의 나노 물질을 이용한 에미터 어레이 제작 방법
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발명자
정진우, 송윤호
출원번호
16430249 (2019.06.03)
공개번호
20190304731 (2019.10.03)
등록번호
10580609 (2020.03.03)
출원국
미국
협약과제
16ZB1900, 나노 전자원 기술연구, 송윤호
초록
Provided is an electron emission source including a substrate, a fixed structure provided on the substrate, and an electron emission yarn provided between the substrate and the fixed structure. The fixed structure includes a first portion having a first width and a second portion having a second width greater than the first width, and the electron emission yarn extends on a first sidewall of the first portion of the fixed structure from between the fixed structure and the substrate.
패밀리
 
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