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Registered PHOTODETECTOR DEVICE

광 검출 소자
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Inventors
Young-Ho Ko, Won Seok Han, Choe Joong-Seon, Lee Seo Young, Baek Yongsoon, Han Young-Tak, Jong-Hoi Kim
Application No.
10-2017-0047568 (2017.04.12) KIPRIS
Publication No.
10-2018-0056348 (2018.05.28)
Registration No.
10-2377319-0000 (2022.03.17)
Country
KOREA
Project Code
16MB1200, Development of key technologies for flexible optical node based on software-defined network(SDN), Baek Yongsoon
Abstract
제 1 영역 및 제 2 영역을 갖는 반도체 기판, 상기 반도체 기판의 상기 제 1 영역 상에 배치되는 제 1 광 도파로, 및 상기 제 1 영역의 상기 제 1 광 도파로 상에 배치되는 광 검출부를 포함하는 광 검출 소자를 제공하되, 상기 제 1 광 도파로의 일부는 상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역으로 연장되고, 상기 광 검출부는 상기 제 1 광 도파로 상에 배치되고 n-형의 도전형을 갖는 제 1 반도체층, 상기 제 1 반도체층의 일부를 덮는 제 2 반도체층, 및 상기 제 2 반도체층 상에 배치되고 p-형의 도전형을 갖는 제 3 반도체층을 포함하고, 상기 제 2 반도체층은 진성(intrinsic)의 제 1 흡수층, 및 제 1 흡수층 상에 배치되는 p-형의 제 2 흡수층을 포함할 수 있다.