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상세정보

등록 전계 방출 에미터 전극 및 이의 제조 방법

전계 방출 에미터 전극 및 이의 제조 방법
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발명자
송윤호, 최영철, 김재우, 고은솔
출원번호
10-2017-0167790 (2017.12.07) KIPRIS
공개번호
10-2018-0065954 (2018.06.18)
등록번호
10-2383401-0000 (2022.04.01)
출원국
대한민국
협약과제
16ZB1900, 나노 전자원 기술연구, 송윤호
초록
전계방출 에미터 전극의 제조 방법은 기판 상에 페이스트 층을 형성하는 것, 페이스트 층을 건조하는 것, 페이스트 층을 열처리하는 것, 및 페이스트 층을 표면처리하는 것을 포함하되, 페이스트 층은 카바이드계 무기 충전제, 탄소나노튜브, 용매, 및 유기 바인더를 포함하고, 카바이드계 무기 충전제는 0.3 마이크로미터(㎛) 내지 20 마이크로미터(㎛)의 입경을 갖는다.
KSP 제안 키워드
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