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상세정보

등록 전계 방출 장치

전계 방출 장치
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발명자
최영철, 송윤호, 전효진, 박소라, 강준태, 연지환, 정진우, 신민식, 고은솔, 김성희, 김재우, 이정웅
출원번호
10-2017-0082825 (2017.06.29) KIPRIS
공개번호
10-2018-0065861 (2018.06.18)
등록번호
10-2238574-0000 (2021.04.05)
출원국
대한민국
협약과제
16ZB1900, 나노 전자원 기술연구, 송윤호
초록
본 발명은 전계 방출 장치에 관한 것이다. 본 발명의 전계 방출 장치는 서로 이격된 캐소드 전극과 아노드 전극; 상기 캐소드 전극 상의 에미터; 상기 캐소드 전극과 상기 아노드 전극 사이에 위치되고, 상기 에미터와 중첩되는 게이트 개구를 갖는 게이트 전극; 및 상기 게이트 전극 상에 위치되고, 상기 게이트 개구와 중첩되는 복수의 미세 개구들을 갖는 전자 투과 시트를 포함한다.
KSP 제안 키워드
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등록 고투과 집속 전자빔 전계방출 구조 및 이를 구비한 디지털 엑스선 튜브 미국