상세정보
등록 가스센서의 제조 방법
- 발명자
- 박종혁
- 출원번호
- 10-2018-0017264 (2018.02.12) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2019-0016424 (2019.02.18)
- 등록번호
- 10-2456377-0000 (2022.10.14)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 16PB1400, 대면적 그래핀 기판을 이용한 저비용, 고품위의 III-V 나노와이어 발광소자 개발, 박종혁
- 초록
- 본 발명의 실시예에 따른 가스센서의 제조 방법은 기판 상에 히터부를 형성하는 것, 기판의 일부를 제거하여 히터부의 하면을 노출하는 개구부를 형성하는 것, 히터부의 상면 상에 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 것 및 제1 전극 및 제2 전극의 사이에, 개구부와 수직적으로 중첩된 감지막을 형성하는 것을 포함하되, 감지막을 형성하는 것은 용액공정을 수행하여 산화 아연 나노막대를 성장시키는 것을 포함할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method, gas sensors