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Registered Manufacturing method of gas sensor

가스센서의 제조 방법
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Inventors
Park Jonghyurk
Application No.
10-2018-0017264 (2018.02.12) KIPRIS
Publication No.
10-2019-0016424 (2019.02.18)
Registration No.
10-2456377-0000 (2022.10.14)
Country
KOREA
Project Code
16PB1400, Semiconductor nanowire/graphene hybrids for high-efficiency light emitting diodes, Park Jonghyurk
Abstract
본 발명의 실시예에 따른 가스센서의 제조 방법은 기판 상에 히터부를 형성하는 것, 기판의 일부를 제거하여 히터부의 하면을 노출하는 개구부를 형성하는 것, 히터부의 상면 상에 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 것 및 제1 전극 및 제2 전극의 사이에, 개구부와 수직적으로 중첩된 감지막을 형성하는 것을 포함하되, 감지막을 형성하는 것은 용액공정을 수행하여 산화 아연 나노막대를 성장시키는 것을 포함할 수 있다.
KSP Keywords
Manufacturing method, gas sensors