상세정보
등록 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2018-0088192 (2018.07.27) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2019-0024675 (2019.03.08)
- 등록번호
- 10-2418187-0000 (2022.07.04)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 17HB1300, 차세대 신기능 스마트디바이스 플랫폼을 위한 대면적 이차원소재 및 소자 원천기술 개발, 윤선진
- 초록
- 고균일도 및 고품질의 금속 칼코겐 화합물 박막을 제조하는 방법이 제공된다. 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법은 금속 박막 및 상기 금속 박막의 상면 또는 하면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 및 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함할 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Chalcogenide thin films, metal chalcogenide, thin film(TF)
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 칼코겐화합물 초박막 제조 방법 | 미국 |