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Registered Method for fabricating metal chalcogenide thin films

금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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Inventors
Sun Jin Yun, Jung Kwang Hoon, Lim Jungwook, 채현준
Application No.
10-2018-0088192 (2018.07.27) KIPRIS
Publication No.
10-2019-0024675 (2019.03.08)
Registration No.
10-2418187-0000 (2022.07.04)
Country
KOREA
Project Code
17HB1300, Fundamental technologies of two-dimensional materials and devices for the platform of new-functional smart devices, Sun Jin Yun
Abstract
고균일도 및 고품질의 금속 칼코겐 화합물 박막을 제조하는 방법이 제공된다. 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법은 금속 박막 및 상기 금속 박막의 상면 또는 하면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 및 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함할 수 있다.
KSP Keywords
Chalcogenide thin films, metal chalcogenide, thin film(TF)
Family
 
패밀리 특허 목록
Status Patent Country KIPRIS
Registered METHOD FOR FABRICATING METAL CHALCOGENIDE THIN FILMS UNITED STATES