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Detail
Registered Method for fabricating metal chalcogenide thin films
- Inventors
- Sun Jin Yun, Jung Kwang Hoon, Lim Jungwook, 채현준
- Application No.
- 10-2018-0088192 (2018.07.27) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2019-0024675 (2019.03.08)
- Registration No.
- 10-2418187-0000 (2022.07.04)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 17HB1300, Fundamental technologies of two-dimensional materials and devices for the platform of new-functional smart devices, Sun Jin Yun
- Abstract
- 고균일도 및 고품질의 금속 칼코겐 화합물 박막을 제조하는 방법이 제공된다. 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법은 금속 박막 및 상기 금속 박막의 상면 또는 하면에 배치된 칼코겐 박막을 포함하는 금속 전구체 박막을 기판 상에 형성하는 것; 및 상기 금속 전구체 박막 상으로 칼코겐 소스를 제공하는 칼코겐화 공정을 수행하여 제 1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것을 포함할 수 있다.
- KSP Keywords
- Chalcogenide thin films, metal chalcogenide, thin film(TF)
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | METHOD FOR FABRICATING METAL CHALCOGENIDE THIN FILMS | UNITED STATES |