상세정보
등록 칼코겐화합물 초박막 제조 방법
- 출원번호
- 16047871 (2018.07.27)
- 공개번호
- 20190067005 (2019.02.28)
- 등록번호
- 10811254 (2020.10.20)
- 출원국
- 미국
- 협약과제
- 17HB1300, 차세대 신기능 스마트디바이스 플랫폼을 위한 대면적 이차원소재 및 소자 원천기술 개발, 윤선진
- 초록
- Provided is a method for fabricating high-uniformity and high-quality metal chalcogenide thin films. The method for fabricating metal chalcogenide thin films may include forming a metal precursor thin film including a metal thin film and a chalcogen thin film disposed on the upper surface or lower surface of the metal thin film; and performing a chalcogenization process for providing a chalcogen source on the metal precursor thin film to form a first metal chalcogenide thin film.
- KSP 제안 키워드
- Chalcogenide thin films, High-quality, Metal precursor, metal chalcogenide, metal thin film, quality metal, thin film(TF)
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법 | 대한민국 | KIPRIS |