상세정보
등록 전계 방출 소자를 에이징하는 장치 및 이의 에이징 방법
- 출원번호
- 10-2018-0090958 (2018.08.03) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2019-0028277 (2019.03.18)
- 등록번호
- 10-2345783-0000 (2021.12.28)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 17ZB1100, 나노 전자원 기술연구, 송윤호
- 초록
- 본 발명은 제1 전극 및 제2 전극 사이의 전계에 기초하여 전자를 방출시키는 전계 방출 소자를 에이징하는 장치 및 이의 에이징 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 장치는 전압 생성기 및 전류 제어기를 포함한다. 전압 생성기는 제1 시간 동안 제1 전극에 인가되는 전압의 크기를 목표 전압 레벨까지 증가시킨다. 전류 제어기는 제2 시간 동안 전계 방출 전류의 크기를 목표 전류 레벨까지 증가시키고, 제3 시간 동안 전계 방출 전류의 펄스폭을 목표 펄스폭까지 증가시킨다. 본 발명에 따르면, 고효율 저비용으로 대량의 전계 방출 소자의 성능이 향상될 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- field emission, field emission device
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 전계방출소자의 에이징 방법 및 장치 | 미국 |