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Registered APPARATUS FOR AGING FIELD EMISSION DEVICE AND AGING METHOD THEREOF

전계 방출 소자를 에이징하는 장치 및 이의 에이징 방법
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Inventors
Jeong Jin-Woo, Yoon-Ho Song
Application No.
10-2018-0090958 (2018.08.03) KIPRIS
Publication No.
10-2019-0028277 (2019.03.18)
Registration No.
10-2345783-0000 (2021.12.28)
Country
KOREA
Project Code
17ZB1100, The study on the technology of nano electron-source, Yoon-Ho Song
Abstract
본 발명은 제1 전극 및 제2 전극 사이의 전계에 기초하여 전자를 방출시키는 전계 방출 소자를 에이징하는 장치 및 이의 에이징 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 장치는 전압 생성기 및 전류 제어기를 포함한다. 전압 생성기는 제1 시간 동안 제1 전극에 인가되는 전압의 크기를 목표 전압 레벨까지 증가시킨다. 전류 제어기는 제2 시간 동안 전계 방출 전류의 크기를 목표 전류 레벨까지 증가시키고, 제3 시간 동안 전계 방출 전류의 펄스폭을 목표 펄스폭까지 증가시킨다. 본 발명에 따르면, 고효율 저비용으로 대량의 전계 방출 소자의 성능이 향상될 수 있다.
KSP Keywords
field emission, field emission device
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Status Patent Country KIPRIS
Registered APPARATUS FOR AGING FIELD EMISSION DEVICE AND AGING METHOD THEREOF UNITED STATES