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상세정보

등록 나노 플레이크 결함 부동화 방법 및 이를 이용해 제조된 전자 소자

나노 플레이크 결함 부동화 방법 및 이를 이용해 제조된 전자 소자
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발명자
윤선진, 양준재, 연창봉, 임정욱
출원번호
10-2018-0116621 (2018.09.28) KIPRIS
공개번호
10-2019-0049445 (2019.05.09)
등록번호
10-2299344-0000 (2021.09.01)
출원국
대한민국
협약과제
17HB1300, 차세대 신기능 스마트디바이스 플랫폼을 위한 대면적 이차원소재 및 소자 원천기술 개발, 윤선진
초록
본 발명은 도전막의 제조 방법 및 이를 이용해 제조된 전자 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판 상에 복수개의 조각들을 포함하는 도전막을 형성하는 것, 상기 도전막은 반도체 또는 도체이고; 및 서로 인접하는 상기 조각들 사이의 경계 상에 선택적으로 부동화 영역을 형성하는 것을 포함한다. 상기 부동화 영역은, 금속 칼코게나이드 및 전이금속 칼코게나이드로 이루어진 군에서 선택된 금속 화합물을 포함하고, 상기 부동화 영역을 형성하는 것은, 상기 금속 화합물의 양이온을 포함하는 제1 전구체 및 상기 금속 화합물의 음이온을 포함하는 제2 전구체를 함유하는 용액을 상기 도전막 상에 제공하는 것을 포함하고, 상기 용액의 pH는 7.0 내지 10.0이다.
KSP 제안 키워드
Nano-flakes, electronic devices