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Registered THIN FILM TRASISTOR AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

박막 트랜지스터 및 그 제조 방법
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Inventors
Oh Himchan, Sun Jin Yun, Hwang Chi-Sun, Lee Jeong Ik
Application No.
10-2019-0131105 (2019.10.22) KIPRIS
Publication No.
10-2020-0052216 (2020.05.14)
Registration No.
10-2668105-0000 (2024.05.17)
Country
KOREA
Project Code
18HB1100, Fundamental technologies of two-dimensional materials and devices for the platform of new-functional smart devices, Sun Jin Yun
Abstract
기판, 상기 기판 상에서 상기 기판의 상면에 평행한 제 1 방향으로 연장되는 채널부, 상기 채널부의 상기 제 1 방향의 양단에 연결되는 소스/드레인 전극들, 및 상기 제 1 방향과 교차하고 상기 기판의 상기 상면에 평행한 제 2 방향으로 상기 채널부와 이격되어 배치되는 게이트 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 제공하되, 상기 채널부, 상기 소스/드레인 전극들 및 상기 게이트 전극 각각은 단일층으로 제공될 수 있다.
KSP Keywords
thin film(TF)
Family
 
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Status Patent Country KIPRIS
Registered THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME UNITED STATES