상세정보
등록 경사 전극을 이용한 인터포저 및 그 제조 방법
- 출원번호
- 10-2019-0148505 (2019.11.19) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2021-0060929 (2021.05.27)
- 등록번호
- 10-2432339-0000 (2022.08.09)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 19ZK1100, 호남권 지역산업 기반 ICT융합기술 고도화 지원사업, 이길행
- 초록
- 경사 전극을 이용한 인터포저 및 그 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 인터포저는, 상부가 위치하는 제1 레이어와 하부가 위치하는 제2 레이어 사이에 적어도 하나 이상의 경사면이 형성된 제1 플레이트와, 상기 제1 레이어를 따라 형성되는 상부와, 상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 레이어를 따라 연장되어 형성되는 하부를 포함하는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 적어도 하나 이상의 전극을 포함하고, 상기 적어도 하나 이상의 전극은, 상기 제1 플레이트의 상부를 따라 형성되는 부분 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 부분이 노출될 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method