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Registered 경사 전극을 이용한 인터포저 및 그 제조 방법

경사 전극을 이용한 인터포저 및 그 제조 방법
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Inventors
김대선, 이종진, 권원배, 정수용, 강은규
Application No.
10-2019-0148505 (2019.11.19) KIPRIS
Publication No.
10-2021-0060929 (2021.05.27)
Registration No.
10-2432339-0000 (2022.08.09)
Country
KOREA
Project Code
19ZK1100, Development of ICT Convergence Technology for Honam Regional Industry, Lee Gil Haeng
Abstract
경사 전극을 이용한 인터포저 및 그 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 인터포저는, 상부가 위치하는 제1 레이어와 하부가 위치하는 제2 레이어 사이에 적어도 하나 이상의 경사면이 형성된 제1 플레이트와, 상기 제1 레이어를 따라 형성되는 상부와, 상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 레이어를 따라 연장되어 형성되는 하부를 포함하는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 적어도 하나 이상의 전극을 포함하고, 상기 적어도 하나 이상의 전극은, 상기 제1 플레이트의 상부를 따라 형성되는 부분 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 부분이 노출될 수 있다.
KSP Keywords
Manufacturing method