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Registered 메모리 소자 및 그 제조 방법

메모리 소자 및 그 제조 방법
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Inventors
박배호, 윤성민, 김정훈, 임종필, 강승열, 문승언, 우지용, 전지훈, 윤찬수
Application No.
10-2020-0058889 (2020.05.18) KIPRIS
Publication No.
10-2021-0054438 (2021.05.13)
Registration No.
10-2430789-0000 (2022.08.04)
Country
KOREA
Project Code
19ZB1800, Development of Neuromorphic Hardware by using High Performance Memristor Device based on Ulta-thin Film Structure, Moon Seungeon
Abstract
본 발명은 메모리 소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 기판; 상기 기판 상에 제공되며, 교대로 적층된 절연층들 및 하부 전극들을 포함하는 복수의 수직 구조체들, 상기 수직 구조체들은 상기 기판의 상면과 평행한 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 정렬되고; 상기 수직 구조체들 각각의 상면 및 측면들 상에 제공되는 상부 전극; 및 상기 상부 전극 및 상기 수직 구조체들 사이에 배치되며, 상기 수직 구조체들 각각의 상면 및 측면들을 덮는 제1 유전층을 포함하되, 상기 제1 유전층은 강유전 물질을 포함할 수 있다.
KSP Keywords
memory device
Family
 
패밀리 특허 목록
Status Patent Country KIPRIS
Registered MEMORY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME UNITED STATES