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등록 냉각형 광송신 모듈 장치 및 그 장치의 제조 방법

냉각형 광송신 모듈 장치 및 그 장치의 제조 방법
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발명자
강은규, 이종진, 권상진, 권원배, 김대선, 정수용
출원번호
10-2020-0029886 (2020.03.10) KIPRIS
공개번호
10-2021-0050415 (2021.05.07)
등록번호
10-2506645-0000 (2023.02.28)
출원국
대한민국
협약과제
19ZK1100, 호남권 지역산업 기반 ICT융합기술 고도화 지원사업, 이길행
초록
본 발명은 냉각형 광송신 모듈 장치에 관한 것으로, 광 송신 플랫폼이 실장되기 위한 공간이 복수개 구비된 실리콘 웨이퍼; 플랫폼 실장홈에 본딩되어 열을 외부로 방열시키는 열전 냉각기; 열전 냉각기 상부에 구비되고, 광신호를 출력한 후 반사시켜 출력하는 광 송신 플랫폼; 상기 실리콘 웨이퍼의 플랫폼 실장홈에 본딩되고, 실장된 광 송신 플랫폼을 전기적으로 연결하는 유전체 서브 마운트; 및 실리콘 웨이퍼의 플랫폼 실장홈을 덮은 후 밀폐시키는 동시에 전기적 경로를 제공하는 커버를 포함한다.
KSP 제안 키워드
Manufacturing method, optical transmission
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등록 냉각형 광송신 모듈 및 그 제작 방법 미국