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Registered Cooling optical transmission module device and manufacturing method thereof

냉각형 광송신 모듈 장치 및 그 장치의 제조 방법
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Inventors
Kang Eun Kyu, Jong Jin Lee, Sangjin Kwon, Won-Bae Kwon, Kim Dae Seon, Soo Yong Jung
Application No.
10-2020-0029886 (2020.03.10) KIPRIS
Publication No.
10-2021-0050415 (2021.05.07)
Registration No.
10-2506645-0000 (2023.02.28)
Country
KOREA
Project Code
19ZK1100, Development of ICT Convergence Technology for Honam Regional Industry, Lee Gil Haeng
Abstract
본 발명은 냉각형 광송신 모듈 장치에 관한 것으로, 광 송신 플랫폼이 실장되기 위한 공간이 복수개 구비된 실리콘 웨이퍼; 플랫폼 실장홈에 본딩되어 열을 외부로 방열시키는 열전 냉각기; 열전 냉각기 상부에 구비되고, 광신호를 출력한 후 반사시켜 출력하는 광 송신 플랫폼; 상기 실리콘 웨이퍼의 플랫폼 실장홈에 본딩되고, 실장된 광 송신 플랫폼을 전기적으로 연결하는 유전체 서브 마운트; 및 실리콘 웨이퍼의 플랫폼 실장홈을 덮은 후 밀폐시키는 동시에 전기적 경로를 제공하는 커버를 포함한다.
KSP Keywords
Manufacturing method, optical transmission
Family
 
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Status Patent Country KIPRIS
Registered COOLED OPTICAL TRANSMISSION MODULE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME UNITED STATES