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등록 저주파 진동 출력 소자

저주파 진동 출력 소자
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발명자
박강호, 안성덕, 임종태, 김혜진, 오지영, 박찬우, 이정익
출원번호
10-2020-0035159 (2020.03.23) KIPRIS
공개번호
10-2021-0052152 (2021.05.10)
등록번호
10-2542471-0000 (2023.06.07)
출원국
대한민국
협약과제
19HB1300, Skintronics를 위한 감각 입출력 패널 핵심 기술 개발, 이정익
초록
본 발명의 일 실시예에 따른 저주파 진동 출력 소자는 한 쌍의 연결 전극들을 포함하는 기판; 상기 한 쌍의 연결 전극들 상에 제공되어 진동을 생성하는 액추에이터(actuator); 상기 액추에이터 상에 제공되는 지지대; 상기 지지대 상에 제공되어 상기 액추에이터를 따라 진동되는 진동막; 상기 진동막 상에 제공되어 상기 진동막을 따라 진동되는 진동질량부를 포함하되, 상기 액추에이터는 적층된 복수 개의 절연막들 및 상기 인접하는 절연막들 사이에 교대로 적층되는 내부 전극들을 포함하고, 상기 진동막과 접촉하는 상기 지지대의 상면의 면적은 상기 액추에이터와 접촉하는 상기 지지대의 하면의 면적과 같거나 그보다 더 작을 수 있다.
KSP 제안 키워드
low-frequency
패밀리
 
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등록 저주파 출력 압전 진동 소자 및 그 방법 미국