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상세정보

등록 플렉서블 습도 센서 및 그 제조 방법

발명자
양우석, 홍성훈, 임규리
출원번호
17406786 (2021.08.19)
공개번호
20220057354 (2022.02.24)
등록번호
11519874 (2022.12.06)
출원국
미국
협약과제
19PB6400, 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축 (RFID 나노융합센서), 홍성훈
초록
A humidity sensor is provided. The humidity sensor includes a flexible substrate, a moisture absorption prevention layer covering the flexible substrate, a dielectric layer on the moisture absorption prevention layer, hydrophobic patterns on the dielectric layer, a first electrode between the moisture absorption prevention layer and the dielectric layer, and a second electrode spaced apart from the first electrode between the moisture absorption prevention layer and the dielectric layer. The first electrode has a thickness greater than that of the moisture absorption prevention layer.
KSP 제안 키워드
Flexible substrate, Humidity Sensor, dielectric layer, moisture absorption
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등록 습도 센서 대한민국