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Registered 광소자의 광학 특성을 조절하는 나노 구조체 및 그의 제조방법
- Application No.
- 10-2020-0145198 (2020.11.03) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2022-0059696 (2022.05.10)
- Registration No.
- 10-2668109-0000 (2024.05.17)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 20ZB1200, ICT 소재·부품·장비 자립기술 및 도전기술 개발, Lee Jeong Ik
- Abstract
- 본 발명의 일 실시예에 따른 광소자의 광학 특성을 조절하기 위한 나노 구조체는 기판; 상기 기판 상에 제공되어 상기 기판의 표면 에너지를 조절하는 표면 조절층; 및 상기 표면 조절층 상에 제공되는 캐핑층을 포함하되, 상기 캐핑층은: 상기 표면 조절층으로부터 멀어지도록 볼록한 프로파일을 갖는 볼록부; 및 상기 표면 조절층과 접촉하는 함몰부를 포함할 수 있다.
- KSP Keywords
- Manufacturing method, Nano-structures, Optical devices, optical properties