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Registered Nano structure for controlling optical properties of optical device and manufacturing method thereof

광소자의 광학 특성을 조절하는 나노 구조체 및 그의 제조방법
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Inventors
Cho Doo-Hee, Cho Nam Sung, Hyunsu Cho, Kwon Byoung-Hwa, Park Young Sam, Shin Jin Wook
Application No.
10-2020-0145198 (2020.11.03) KIPRIS
Publication No.
10-2022-0059696 (2022.05.10)
Registration No.
10-2668109-0000 (2024.05.17)
Country
KOREA
Project Code
20ZB1200, ICT 소재·부품·장비 자립기술 및 도전기술 개발, Lee Jeong Ik
Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 광소자의 광학 특성을 조절하기 위한 나노 구조체는 기판; 상기 기판 상에 제공되어 상기 기판의 표면 에너지를 조절하는 표면 조절층; 및 상기 표면 조절층 상에 제공되는 캐핑층을 포함하되, 상기 캐핑층은: 상기 표면 조절층으로부터 멀어지도록 볼록한 프로파일을 갖는 볼록부; 및 상기 표면 조절층과 접촉하는 함몰부를 포함할 수 있다.
KSP Keywords
Manufacturing method, Nano-structures, Optical devices, optical properties