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상세정보

등록 펨토초 펄스 레이저 장치

발명자
송동훈, 서홍석, 허철
출원번호
17/393655 (2021.08.04)
공개번호
US2022/0181838 A1 (2022.06.09)
등록번호
11695249 (2023.07.04)
출원국
미국
협약과제
19PR1700, 펄스 가변형(펨토-피코초) 극초단 펄스 레이저 기반 선폭 10μm급 롤 금형 가공공정 및 장비 기술 개발, 서홍석
KSP 제안 키워드
Femtosecond pulse laser, Pulse laser, femtosecond pulse
패밀리
 
패밀리 특허 목록
구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 펨토초 펄스 레이저 장치 대한민국 KIPRIS
등록 펨토초 펄스 레이저 장치 미국