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상세정보

등록 펨토초 펄스 레이저 장치

발명자
송동훈, 서홍석, 허철
출원번호
17/393655 (2021.08.04)
공개번호
US2022/0181838 A1 (2022.06.09)
등록번호
11695249 (2023.07.04)
출원국
미국
협약과제
19PR1700, 펄스 가변형(펨토-피코초) 극초단 펄스 레이저 기반 선폭 10μm급 롤 금형 가공공정 및 장비 기술 개발, 서홍석
KSP 제안 키워드
Femtosecond pulse laser, Pulse laser, femtosecond pulse
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 펨토초 펄스 레이저 장치 대한민국 KIPRIS