상세정보
등록 테라헤르츠 소자의 제조 방법
- 발명자
- 출원번호
- 10-2021-0112023 (2021.08.25)
- 공개번호
- 10-2458236 (2022.10.19)
- 등록번호
- 10-2458236-0000 (2022.10.19)
- 출원국
- 대한민국
- 초록
- 본 발명은 테라헤르츠 소자의 제조 방법을 개시한다. 그의 제조 방법은, 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판의 상부 면에 도전성 불순물을 도핑하여 전극 층을 형성하는 단계와, 상기 전극 층을 패터닝하여 안테나 전극들을 형성하는 단계와, 상기 안테나 전극들 사이에 포토믹서를 형성하는 단계를 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Terahertz device
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 테라헤르츠 소자의 제조 방법 | 대한민국 |