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Detail
Registered method for fabricating terahertz device
- Inventors
- Application No.
- 10-2021-0112023 (2021.08.25)
- Publication No.
- 10-2458236 (2022.10.19)
- Registration No.
- 10-2458236-0000 (2022.10.19)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 20ZH1100, 연결의 한계를 극복하는 초연결 입체통신 기술 연구, Byun Woo Jin
- 20ZB1100, Development of Creative Technology for ICT, Baek Yongsoon
- Abstract
- 본 발명은 테라헤르츠 소자의 제조 방법을 개시한다. 그의 제조 방법은, 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판의 상부 면에 도전성 불순물을 도핑하여 전극 층을 형성하는 단계와, 상기 전극 층을 패터닝하여 안테나 전극들을 형성하는 단계와, 상기 안테나 전극들 사이에 포토믹서를 형성하는 단계를 포함한다.
- KSP Keywords
- Terahertz device
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | method for fabricating terahertz device | KOREA |