Registered
학습기반 다이 투 다이 마스크 검사 장치 및 방법
- Inventors
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김혜진, 손지연
- Application No.
- 2024-0133950 (2024.10.02)
- Registration No.
- 2977149 (2026.06.09)
- Country
- KOREA
- Project Code
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23PR1600, EUV 반도체 생산성 향상을 위한 펠리클/마스크 결함검출용 데이터 구축 및 AI 솔루션 개발,
Hyejin S. Kim
- KSP Keywords
- Die-To-die, Learning-based