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밀리미터파 고온 초전도 믹서 개발
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Participants
김호영, 김현탁, 서정대, 강광용
Published
200201
Type
Final Report
Keyword
에피택셜 다층 박막, 미세 형상화 공정, 건식 식각, 고주파 부품
KSP Keywords
High Temperature, High Temperature Superconductor
Funding Org.
정보통신부
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
01MB1400, Millimeterwave High Temperature Superconductor Mixer, Kang Kwang-Yong
Abstract
가. 연구개발의 내용
1)고온초전도 에피택셜 다층박막 성장기술의 확보
2)고온초전도 박막의 미세형상화 공정기술의 개발
3)건식식각 기술(보호박막 제조기술 포함)을 이용한 HTS 평면형 필터 설계 및 제조기술
4)고온초전도 집적믹서 설계·제작 기술과 위성통신 및 LMDS용 고온초전도 통신 서브-시스템 기술 확보(30 GHz급)
가) HTS 혼성 집적믹서 서브-시스템 기술 개발
나) HTS Down-Converter 서브-시스템 기술 개발
5)고온초전도 고주파 부품용 밀리미터파 평가기술 및 측정시스템 구축기술의 확보 (110 GHz급)
나. 연구개발의 범위
1)$YBCO/CeO_2/A1_2O_3$다층박막 및 대면적 에피박막 성장
가) Scan-PLD법 및 HCS 기법으로 YBCO 박막성장
나) 양변(double sided) 박막의 성장기술도 확보
2) RF Ion-milling법에 의한 미세형상화 공정기술 개발
가) 건식식각 공정(RF ion-milling법)과 $CeO_2$ 박막성장(Coupling용/보호박막) 기술의 활용
나) 고조파 억제형 고온초전도 저역통과 필터(HTS Lowpass Filters) 개발
다) 선폭 $5{mu}m$ 이하까지의 전송선 제조기술 확보.
3) 밀리미터파 대역용 고온초전도 집적소자 및 통신 서브-시스템 개발
가) HTS/III-V 소자의 하이브리드화를 이용한 쳇바퀴(rat-race) 회로 방식의 평형형 밀리미터파 집적믹서의 설계 및 제조기술 개발
나) 고온초전도 집적 믹서 서브-시스템의 개발(30 GHz급)
- HTS/III-V 혼성형 쳇바퀴(Rat-race) 회로 방식의 집적믹서
- RF-모듈(26 GHz 국부발진기, 2 GHz IF 증폭기 등)
- 소형냉각기 및 compressor 모듈과 전원공급 장치
- ADC용 구동 전자모듈(driving electronic module)으로 구성됨.
다) 고온초전도 Down-Convertor 서브-시스템의 개발(30 GHz급)
- HTS/III-V 집적믹서(30 GHz 급)
- 캐비티형(cavity type) 대역통과 필터(26 GHz) 및 저역통과 필터
- 반도체 저잡음 증폭기(LNA) 및 If-파워증폭기
- RF-모듈 및 인터페이스/구동용 전자모듈
- 소형냉각기, compressor 모듈 및 전원공급 장치 등으로 구성됨.
4) 고온초전도 통신부품 특성평가용 측정시스템(110 GHz급)의 구축
가) 초고주파 산화물 박막소자의 on wafer 특성측정 시스템 구축
나) HTS 평면형 안테나 및 수동부품의 특성 측정 및 측정시스템 구축
다) 밀리미터파 자발방출 특성측정과 도파관 방식의 부품 측정 시스템 구축