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Type Funding Org. Research Org.
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차세대 반도체 선행 기초 기술 연구 - 단위 공정 기술과 측정 기술 연구
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Published
199511
Type
Final Report
Keyword
배선 금속막 형성, 식각 기술, Low Dielectric 박막 기술, Vapor Phase Cleaning 기술
Funding Org.
정보통신부, 통상산업부
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
94SM2000, BASYS DataMig, Yoo Hyung Joun