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고압전성 복합 소재 및 초저전력 적층형 압전 센서/액추에이터 복합 모듈 기술 개발 (최종)
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Participants
홍찬화, 김윤정, 진한빛, 박경석, 최수민, 김귀동, 김상협, 서새롬, 김혜진, 염우섭, 민유림, 김정남, 임채현
Published
202302
Type
Final Report
Keyword
압전 복합체, 적층 압전 세라믹, Piezoelectric composite, Multilayered piezoelectric ceramic
Funding Org.
과학기술정보통신부
Research Org.
한국전자통신연구원
Project Code
22HB1600, Development of high piezoelectric coefficient composite and ultra-low power multilayered piezoelectric sensor/actuator multi-functional module, Hye Jin Kim
Abstract
※ 연구개발 목표 및 내용
◎ 최종 목표
o 고압전성 복합소재 및 초저전력 적층형 압전 센서/액추에이터 복합모듈 기술 개발
- 고압전성 복합 소재를 위한 압전 powder 물성 및 복합 매트릭스 소재 개발
- 저전압 구동 압전 적층 소재 및 내부전극 소재 개발
- 고출력 멀티몰프 적층 압전구조 설계 및 센서/액추에이터 핵심 기술 개발
- 150 mW급 저전력 센서 및 액추에이터 복합 모듈 개발
- 진동/터치 센싱 패턴 분석 및 신호처리/구동 회로 설계 기술 개발
- 통합형 센서/액추에이터 제어 지능형 알고리즘 개발

o End Product
- 고압전성 유연 복합소재 기반 압력센서 (HW)
- 적층 압전 세라믹 기반 음향/진동 액추에이터 (HW)
- 압전 센서/액추에이터 복합모듈 (HW)
- 통합형 센서/액추에이터 제어 지능형 알고리즘 (SW)

◎ 전체 내용
① 고압전성 유연복합 소재 및 고민감 압전센서 기술 개발
- 고압전성 유연 복합소재 배합 및 공정 기술
- 고민감 압전센서 단위소자 설계 및 박막 패터닝 기술
- 고균일도 유연 압전센서 어레이 공정 기술
- 유연 압전센서 저잡음 고감도 신호처리 및 알고리즘 기술

② 적층형 압전 세라믹 소재 및 고출력/고변위 압전 액추에이터 기술 개발
- 고성능 Soft계 압전체 조성 최적화 및 전극소재 국산화 기술
- 고변위/고출력 적층 압전 세라믹 구조 설계 및 공정 최적화 기술
- 적층형 세라믹 기반 진동 액추에이터 단위소자 설계 및 공정기술
- 적층 세라믹 기반 음향 액추에이터 단위소자 구조 설계 및 공정 개발
- 음향/진동 액추에이터 어레이 구동회로 및 패턴생성 알고리즘 기술

③ 압전 센서/액추에이터 복합모듈 제작 및 제어 알고리즘 개발
- 압전 복합모듈을 위한 센서 어레이 구조 설계 및 성능 최적화 기술
- 복합모듈을 위한 압전 진동/음향 액추에이터 설계 및 제작 기술
- 센서 및 액추에이터 어레이 통합 신호처리 기술
- 복합모듈 구동회로 보정 설계 및 알고리즘 구현 검증

※ 연구개발성과
□ 정량적 목표 달성 수준
● 추진목표
ㅇ 고압전성 복합소재 기술 개발
- 목표: 압전상수 100pC/N 이상
● 달성내용
ㅇ 세계최고성능 압전성을 갖는 복합소재 기술 확보
- 압전상수 103pC/N 달성

● 추진목표
ㅇ 고민감 압전센서 기술 개발
- 목표: 센서 민감도 500mV/N 이상
● 달성내용
ㅇ 대면적 유연 압전센서 어레이 미세 패터닝 공정 기술 확보 및 고민감 감지 특성 확보
- 센서 민감도 1048mV/N 달성

● 추진목표
ㅇ 저전압 구동 압전 세라믹 소자 개발
- 목표: 구동전압 8Vrms 이하
● 달성내용
ㅇ 저전압 구동을 위한 멀티몰프형 적층 압전 세라믹 액추에이터 소자 기술 확보
- 구동전압 8Vrms 달성

● 추진목표
ㅇ 고출력 압전 음향 액추에이터 개발
- 목표: 출력음압 87dB 이상
● 달성내용
ㅇ 기존 스피커 대체 가능한 수준의 출력음압 특성을 갖는 압전 음향 액추에이터 기술 확보
- 출력음압 95.11dB 달성

● 추진목표
ㅇ 고출력 압전 진동(햅틱) 액추에이터 개발
- 목표: 진동가속도 0.6G 이상
● 달성내용
ㅇ 인간의 감각수용체 역치값(~0.5G) 이상의 진동 전달이 가능한 액추에이터 소자 기술 확보
- 진동가속도 0.894G 달성 (bare)
- 진동가속도 134G 달성 (w/ 진동 증폭 구조체)

● 추진목표
ㅇ 촉질감 진동패턴 종류 구현
- 목표: 진동패턴 종류 4종 이상
● 달성내용
ㅇ 촉질감 수집 데이터 기반의 렌더링 알고리즘 개발로 다양한 복합 촉질감 패턴 구현 기술 확보
- 진동패턴 종류 5종 달성

● 추진목표
ㅇ 저전력 음향/진동 액추에이터 개발
- 목표: 소비전력 150mW 이하
● 달성내용
ㅇ 압전 음향/진동 액추에이터 소자의 저전력 특성 확보
- 소비전력(음향/진동) 116.46mW/120.86mW 달성

● 추진목표
ㅇ 저지연 응답시간 회로 기술 개발
- 목표: 응답시간 10msec 이하
● 달성내용
ㅇ 세계최고수준의 저지연 압전 센서-액추에이터 연동 텔레햅틱 기술 확보
- 응답시간 1.55msec 달성

□ 정량적 연구개발 성과

□ 정성적 연구개발 성과
◦ 고압전성 복합소재의 국산화를 위한 압전소재 공정 확립 및 제작 환경 구축
◦ 저전력화 및 복합기능 구현이 가능한 핵심 압전 소재-소자-부품 기술 확보
◦ 압력분포 모니터링 및 음향/진동(햅틱) 피드백이 가능한 압전 복합모듈 세계최초 개발
◦ 센서/액추에이터 복합모듈, 촉질감 분류 기술, 텔레햅틱 기술 등 9종의 시제품 개발을 통해 3년 연속 나노코리아 전시회 시연 및 기술홍보 성과 달성
◦ 개발된 압전 액추에이터의 국산화 및 응용분야 확장을 위한 고신뢰성(고온고습 동작, 열충격, 고온고습 방치, 저온방치, 낙하) 확보

※ 연구개발성과
(기술적 효과)
o 유연 압전 복합체 및 멀티몰프 압전 적층 소자, 초저전력 센서/액추에이터 복합모듈 등 일본수입에 의존 중인 압전 소재-소자-부품 핵심기술을 조기 국산화함으로써 당면한 기술적 위기를 극복하고 ICT 국가기술 경쟁력 강화에 기여 (대일의존도 30% 미만 달성)
o 초저전력 센서, 액추에이터 복합모듈 기술과 신호처리 및 구동 알고리즘 기술의 융합을 통해 자동차용 HMI(Human Machine Interface) 햅틱 피드백 시스템, 모바일 디바이스 인터페이스, AR/VR 기기에 탑재되는 다중감각 입출력 모듈과 같은 몰입감과 안전성이 개선된 차세대 인터페이스 개발을 가속, 시장 선점에 기여

(경제적, 산업적 효과)
o 압전소재 국산화 및 첨단부품 개발로 압전 센서, 액추에이터, 트랜스듀서 등 ‘24년 484억 불 규모의 전세계 압전부품 시장진입 및 매출 증대가 기대되며, 특히 압전 센서/액추에이터 복합모듈의 활용이 크게 예상되는 스마트워치, 태블릿 등 웨어러블 기기는 매년 2배 이상의 시장 성장을 하고 있어 매우 큰 시장 파급효과가 있을 것으로 전망
o 다중감각 입출력 디바이스 및 구동 알고리즘 개발로 ’25년 250억 불 규모, 연평균 16%로 성장하고 있는 전세계 햅틱 인터페이스 시장진입이 예상되며, 자동차, 가전, 모바일 쇼핑 등 다양한 분야에서 새로운 차원의 몰입감과 감각 피드백을 제공하는 차세대 인터페이스 시장을 새롭게 창출하는 파급효과가 있을 것으로 전망

(사회적 효과)
o 유연 압전소재 기반 센서 및 액추에이터 핵심 부품모듈 개발로, 고부가가치의 다양한 제품군 개발이 가능하며 국민 삶의 질 향상 및 세계적 경쟁력 유지에 공헌할 것으로 기대
o 다중감각 입출력 디바이스 개발을 위한 원천기술 확보를 통해, 더욱 안전하고(차량용), 몰임감이 극대화(소비/물류 비용 최소화)된 차세대 인터페이스 개발이 가능하여 사회 비용 절감에 기여할 것으로 기대

(출처 : 요약문 4p)