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폭 1500nm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발 (2차년도)
Download 42 time
Participants
이수재, 조성행, 박상희
Published
201405
Type
Annual Report
Keyword
산화물 반도체, ESL, Etch Stop Layer
Funding Org.
산업통상자원부
Research Org.
아바코
Project Code
13VB2600, 폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발, Park Sang-Hee