- 탄소나노튜브 페이스트 및 나노 전계 에미터 기술
- 진공 밀봉된 전계 방출 엑스선 튜브 설계 기술
- 고정형 아노드를 가진 엑스선 튜브 제작 및 평가 기술
- CNT와 같은 나노 물질로 구성된 나노 전계 에미터는 높은 전류밀도 혹은 대전류의 전자원 방출 특성을 가지고 있으며, 이를 이용한 전계방출 엑스선 튜브는 기존 열전자원(thermionic) 기반의 아날로그형 엑스선 튜브와는 달리 빠른 속도로 디지털 제어가 가능하고 소형화할 수 있는 장점을 지님
- 그러나, 나노 전계 에미터의 안정성과 신뢰성, 아웃-가싱(out-gasing), 진공 유지 기술의 미비로 나노 전계 에미터를 이용한 전계방출 엑스선 튜브는 전 세계적으로 아직 완전 밀봉된 형태의 튜브로 상용화되지 못하고 있음
- 본 기술이전은 나노 전계 에미터의 안정성과 신뢰성, 이를 기반으로 개발된 전계방출 엑스선 튜브 기술을 관련 기업체에 이전함으로써 디지털 엑스선 튜브의 상용화, 산업화에 기여하고자 함
- 본 기술은 전계방출 엑스선 튜브의 상용화에 필요한 고안정성, 고신뢰성의 나노 전계 에미터와 이를 이용한 전계방출 엑스선 튜브의 설계, 제작, 평가에 요구되는 핵심 요소기술을 제공함
- 본 기술이전에서 제공하는 나노 전계 에미터 기술은 CNT 전계 에미터의 상용화에서 가장 큰 걸림돌인 기판 전극과의 접착성 문제를 해결할 수 있는 수단을 제공하며, 이에 따라 전계 방출의 안정성과 신뢰성을 확보할 수 있음
- 또한, 나노 전계 에미터를 활용한 전계방출 엑스선 튜브 기술은 전계방출의 제어가 용이한 게이트를 가진 3극 구조로 이루어져 있으며, 아울러 캐소드로부터 방출된 전자빔을 아노드 타겟에 집속할 수 있는 전자빔 집속기술, 엑스선 튜브 제작 전/후의 에이징(aging), 진공 유지 기술 등을 제공하며, 이를 바탕으로 액티브 진공펌프(active vacuum pump: 전기 파워에 의해 구동되는 진공 펌프)가 필요없는 독립된(stand-alone) 형태의 완전 밀봉된 디지털 엑스선 튜브를 제작할 수 있음
- 본 기술에 의한 전계방출 엑스선 튜브는 기존 열전자원 기반의 아날로그형 엑스선 튜브 대비 소형화할 수 있는 장점을 가질 뿐만 아니라 엑스선의 선량을 빠른 속도로 디지털 제어를 할 수 있으며, 또한 엑스선의 에너지와 선량을 독립적으로 조절할 수 있는 장점을 지님
- 탄소나노튜브 페이스트 및 전계 에미터 기술
- 진공 밀봉된 전계 방출 엑스선 튜브 설계 기술
- 고정형 아노드를 가진 전계 방출 엑스선 튜브 제작 및 평가 기술
- 탄소나노튜브 페이스트 및 전계 에미터 기술
· 탄소나노튜브 페이스트 배합, 제조 기술
· 탄소나노튜브 전계 에미터 제작 공정 기술
· 탄소나노튜브 전계 에미터 평가 기술
- 진공 밀봉된 전계 방출 엑스선 튜브 설계 기술
· 캐소드, 게이트(집속전극 포함), 아노드의 3극형 엑스선 튜브 설계 기술
· 전자빔 궤적 시뮬레이션 및 제어 기술
· 정전형 전자빔 집속전극 설계 기술
· 아노드 타겟 열 해석 및 설계 기술
- 고정형 아노드를 가진 전계 방출 엑스선 튜브 제작 및 평가 기술
· 엑스선 튜브의 부품 설계(도면), 가공 관리
· 엑스선 튜브 진공 밀봉 공정 기술
· 엑스선 튜브 에이징 기술
· 엑스선 튜브 특성 분석
· 엑스선 튜브 안정성, 수명 평가
- 본 기술은 전자원을 가진 모든 진공 전자원 소자 및 부품에 활용될 수 있으며, 직접적으로는 덴탈(구강내, 외 검진용 모두), 유방 및 폐 등의 고정형 단층합성(stationary digital tomosynthesis), 소형 C-arm, 골밀도 측정 등의 의료용 검진과 PCB, 반도체 칩 등의 전자회로 검사용, 식품 검사용 등의 엑스선 소스에 적용될 수 있음
- 본 기술은 기존 열전자원 기반의 아날로그형 엑스선 튜브를 대체하여 “엑스선 소스의 디지털화” 시대를 열 수 있는 기술적 기반을 제공하며, 이에 따라 전-디지털화된(all-digitalized) 의료 및 산업 검사 시스템 기술과 관련 산업을 창출할 수 있음