반도체 공정 기술 기반의 고온 동작 저전력 구동의 마이크로 히터 제작 기술 및 이러한 히터 기반의 MEMS형 NO2 가스 센서 기술
? 기존의 환경 계측 장치들은 가격이나 부피 등에서 볼 때 개인용 기기에 탑재되기에는 적합치 않으며, 초소형, 저가격, 신뢰성, 정확성 등을 만족시키는 새로운 대기 환경 감지 장치에 대한 수요가 예상됨
? 그러나 기술이전을 원하는 기업체의 경우 연구소의 원천 및 핵심기술 개발 노력과 무관하게 사업화에 적용할 수 있는 수준의 기술 개발을 원하고 있어, 이에 대한 대응이 필요한 실정임
? 따라서 본 기술이전의 대상은 IoT 서비스를 위한 초소형 마이크로히터 기반 가스 설계 기술 및 제작 기술과 감지 물질에 조성 방법을 포함해 성능 평가 결과 까지를 다루고 있음
? 본 기술이전을 원하는 대상 기업의 경우, ICT 기반의 IoT 센서 노드 사업을 추진하고 있으며, 기존 기술과 달리 차별화 기술 및 차세대 센서 기술로써 활용가치를 평가하고 있어 산업체의 응용범위를 크게 향상시키고, 실내 공기질 모니터링 관련업체의 국내,외적 경쟁력 확보 또한 크게 향상시킬 수 있을 것으로 기대함
- 반도체 공정 기술을 이용한 대량 생산성
- 벌크형 대비 1/10정도의 소모전력 특성
- 마이크로히터 내장형 센서 기술
1. 저소모전력형 마이크로 히터 설계 및 제작 기술
2. 반도체 공정 기반 가스센서 설계 및 제작 기술
3. 마이크로히터 기반 NO2 감지 센서 제작 기술
4. NO2 감시 센서 특성 평가 기술
- 마이크로히터 내장형 NO2 가스 센서 기술
1. CMOS/MEMS 기반 마이크로 히터 설계 및 제작 기술
2. 반도체 공정 기반 가스센서 설계 및 제작 기술
3. MEMS형 NO2 감지 물질 제작 기술
4. 마이크로히터 내장형 NO2 센서 특성 평가 기술
? 본 기술이전 대상의 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술은 응용성이 우수할 뿐만 아니라, 양산화에 필요한 구조 설계, 소재 압출성형 기술, 제품 제작기술, 크기 및 성능 조건의 최적화 기술 등이 확보됨에 따라, 기술이전을 원하는 기업체의 사업화 시점을 크게 앞당겨 매출 증대와 더불어 경쟁력 향상을 가져올 것으로 전망함
? 본 기술이전 대상의 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술은 반도체 기반의 제작 기술을 이용하므로 균일성의 성능 확보를 가능하게 해, 제품의 질 향상이 기대될 수 있음. 아울러, 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술이 적용되는 휴대단말기기의 경우 초저전력 고민감도 동작이 가능해져 상용 제품의 작동 신뢰성 확보를 통한 고객만족 실현이 가능해 질 것으로 기대됨
? 그 외, 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술의 상품으로써 활용 가치는 광범위하며, 최근 들어 실내 공기질 모니터링 모듈, 자동차용 배기가스 점검, 대기 환경 점검등 초소형 저전력 가스센서 솔루션으로써 적용가능성이 매우 큰 것으로 분석됨