ETRI-Knowledge Sharing Plaform

ENGLISH
기술이전 검색
연도 ~ 이전수 키워드

상세정보

산업용 디지털 엑스선 튜브 기술

전수책임자
정진우
참여자
강준태, 김재우, 박소라, 송윤호, 정진우
기술이전수
2
이전연도
2017
협약과제
17ZB1100, 나노 전자원 기술연구, 송윤호
- 정전 및 자기 렌즈 기반 전계방출 전자빔 집속 기술
- 정전 및 자기 렌즈 기반 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 설계, 제작 기술
- 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브를 활용한 고분해능의 비파괴 검사 시스템 구축 및 운용 기술
현재까지 고분해능의 산업용 엑스선 비파괴 검사 장치는 진공 펌프를 반드시 필요로 하는 오픈형 엑스선 소스를 사용하는 것이 일반적이다. 진공 펌프를 사용하는 오픈형 엑스선 소스는 필연적으로 진동을 동반하기 때문에 고분해능의 미세 구조 검사에 불리하며, 진동을 억제하기 위해서는 진동 억제 석정판 등이 필요하여 시스템이 거대화, 복잡화되는 단점을 가진다. 완전 진공 밀봉 형태의 정전 및 자기 렌즈 기반 전계 방출 디지털 엑스선 튜브는 이러한 단점을 극복할 뿐 아니라 현재 유사 기술을 이용한 제품이 시장에 출시되지 않아 기술 및 시장 선점이 가능하고, 또한 다양한 엑스선 검사 분야에 응용할 수 있기에 상기 기술의 이전이 시급하다고 판단된다.
정전 및 자기 렌즈 기반의 완전 진공 밀봉형 전계방출 디지털 엑스선 튜브에 필수적인 탄소나노튜브 전계 에미터의 수명 확보와 더불어 진공 브레이징 공정, 전자빔 정렬 및 제어, 네거티브 캐소드 구동 기술 등을 확보함으로써 고분해능의 엑스선 비파괴 검사 성능을 구현할 수 있으며, 이에 따라 기존 오픈형 열전자 엑스선 소스 대비 소형화, 시스템 관리 비용 저감 등에서 큰 경쟁력을 가진다.
- 정전 및 자기 렌즈 기반 전계방출 전자빔 집속 기술
- 정전 및 자기 렌즈 기반 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 설계, 제작 기술
- 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브를 활용한 고분해능의 비파괴 검사 시스템 구축 및 운용 기술
- 정전 및 자기 렌즈 기반 전계방출 전자빔 집속 기술
· 탄소나노튜브 전계 에미터 모델링 및 전자빔 궤적 시뮬레이션
· 탄소나노튜브 전계방출 전자빔 집속을 위한 정전 및 자기렌즈 설계, 제작
. 전자빔 정렬을 위한 편향기 설계 및 제작

- 정전 및 자기 렌즈 기반 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 설계, 제작 기술
· 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 설계
· 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 부품 설계 및 제작
· 이종 물질간의 진공 브레이징을 통한 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 제작
· 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브 에이징

- 완전 진공 밀봉된 디지털 엑스선 튜브를 활용한 고분해능의 비파괴 검사 시스템 구축 및 운용 기술
· 고전압 절연 및 비파괴 검사 시스템 설계, 구축
· 엑스선 튜브의 네거티브 캐소드 구동 및 고분해능의 엑스선 발생
. 엑스선 영상 획득 및 후처리
정밀 엑스선 비파괴 검사장비에 직접적으로 적용될 수 있으며, 이와 유사한 고분해능의 엑스선 소스 부품 및 시스템에도 적용될 수 있다.