- 도시가스 시설의 가스누출 및 사고를 미연에 방지하기 위해서는 도시가스의 주성분인 메탄가스를 주기적으로 감지할 수 있는 자동화된 감지시스템의 적용이 요구됨
- 자동 감지시스템 구현을 위해서는 저전력 소모 특성이 확보된 MEMS 기반의 센서 개발이 필요하며, 메탄 감지물질 특성 상, 450도 이상의 고온 발열이 가능한 MEMS 히터 전극 기술이 요구됨
o 본 기술이전은 국책과제로 개발된 고온발열 메탄센서용 마이크로히터 전극제작 기술을 국내 기업에 전수하여 국내 저전력 가스센서 시장을 선도하고 해외 가스센서 시장에의 진출 촉진을 목적으로 함
o 미래원천기술연구본부 브레인링크창의연구실은 ‘선택성이 개선된 MEMS 플랫폼 기반 초소형 메탄가스센서의 사업화 (수행기간 : 2021년 3월 ~ 2022년 2월)’ 과제를 수행하였으며, 본 기술이전은 해당 과제 수행기간 동안의 과제 결과물로서 산출된 "고온발열 메탄센서용 마이크로히터 전극제작" 기술을 그 대상으로 함
o 본 기술은 고온발열이 가능한 마이크로히터 전극을 제작하는 공정 기술로서, MEMS 타입의 초소형 메탄센서의 사업화를 가능하도록 함
o 도시가스 누출 감지기는 벌크형의 접촉연소식 센서가 대부분이며, 고 전력소모로 인해 다양한 IoT 서비스나 모바일 애플리케이션에 활용하는데 한계점이 있었다. MEMS 타입의 도시가스 누출 감지가 가능한 센서 사업화를 구현하기 위해서는 초소형 저소모전력형 센서가 필수적인데, 여러 센서 핵심 기술 중의 하나인 ‘고온발열 메탄센서용 마이크로히터 전극제작 기술’의 기술이전을 통해 센서 감지물질, 필터, 신호처리 기술을 확보한 센서 제작업체가 MEMS 타입의 도시가스 감지센서 사업화를 할 수 있도록 기술이전이 필요함
- 반도체식 가스센서를 적용할 경우 MEMS 기반의 마이크로히터를 적용한 저전력의 가스센서의 구현이 가능하게 되어 감지기의 전력소모를 감소할 수 있으며 반도체 공정의 적용으로 대량생산 시 가격의 절감을 기대할 수 있음
- 센서의 저전력 특성은 최근 제품의 추세인 배터리를 사용하는 무선통신 방식의 스마트감지기에 적용이 가능하므로 신규 시장의 진입이 가능
고온발열 메탄센서용 마이크로히터 전극제작 기술
마이크로 미세공정을 이용한 마이크로 히터 전극제작 및 평가 관련 기술문서 2건
o MEMS 기반의 마이크로히터를 적용한 저전력의 가스센서의 구현이 가능하게 되어 감지기의 전력소모를 감소할 수 있으며 반도체 공정의 적용으로 대량생산 시 가격의 절감을 기대할 수 있음
o 센서의 저전력 특성은 최근 제품의 추세인 배터리를 사용하는 무선통신 방식의 스마트감지기에 적용이 가능하므로 신규 시장의 진입이 가능