ETRI-Knowledge Sharing Plaform

- 본 기술은 전기영동 디스플레이용 전극의 증착과 패터닝 및 소자 안정성을 위한 passivaiton 관련 공정 기술임.

- 본 기술이전의 목적은 전기영동 디스플레이용 패턴 전극과 passivation 공정 기술의 전수를 통해 전기영동 디스플레이를 상용화되도록 하는데 있음.

전기영동 디스플레이의 구동에 필요한 미세 하판 전극을 균일하게 형성하고 안정적인 동작을 위한 passivation 층을 형성함.

- 유리기판 상에 전기영동 디스플레이용 패턴 전극과 그 위에 passivation 층을 형성하기 위해서는 안정적인 금속 박막의 증착과 균일한 패턴의 형성이 필요하며 전자잉크의 안정적 동작을 위해 전극을 무기막으로 passviation하는 기술이 필요하여 본 기술이전에서는 사용자가 요구하는 금속 박막의 패턴을 형성하고 그 위에 passviation 층을 형성, 전기영동 디스플레이에 필요한 전극을 제공함

- 유리기판 상에 전기영동 디스플레이용 금속 전극을 증착한 후 사용자의 요구 사항에 맞는 폭과 간격으로 패턴하는 기술과 형성된 전극 위에 무기막을 이용한 passviation 층을 증착하는 기술
- '구동 변위 10% 이상의 촉감과 3단계 이상의 질감 표현이 가능한 센싱과 구동 기능의 멀티터치센서 개발(과제책임자 : 안성덕)'과 '차세대 고이동도용 새로운 반도체 소재 및 소자화 공정 개발(과제책임자 : 안성덕)' 과 ' 홀로그래픽 공간광변조기 기술 개발(과제책임자 : 황치선)'과 ' 폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발(과제책임자 : 조성행)' 과' 미래광고서비스를 위한 에너지절감형 환경적응 I/O 플랫폼 기술 개발(과제책임자 : 황치선)' 사업에서 수행된 연구내용 중에 '전기영동 디스플레이용 전극 제작 및 passivation 기술'에 해당되는 기술로서 상기 기술이전 내용에 포함되는 공정 및 노하우기술

- 전기영동 디스플레이용 패턴된 전극 및 passivation 층 기술 검증물로서 제작된 소자 60개 이상(최대 300개 이하)를 제공함 (6 inch glass 기판 당 12개 소자 X glass 5매)
: 6 inch glass 기판은 기술이전 업체에서 제공
: 검증물 제작에 필요한 마스크 설계는 연구원에서 수행하고, 설계에 따른 실제 마스크는 기술이전 업체에서 제작하여 제공
(공정비용은 기판 및 마스크 재료비에 비해 미미하여 산출하지 않음.)
- 기술 이전 시 노하우 기술을 상세하게 기술한 기술문서를 제공함.

- 본 기술 이전을 통해서 향후 사용자가 필요한 다양한 폭과 간격을 가지는 전극을 공급할 수 있을 것으로 예상함.
- 본 기술을 통해 전기영동 디스플레이의 다양한 구동 방식을 구현하여 기존 상용화된 전기영동 디스플레이의 특허를 회피하고 전자종이 시장에서 경쟁력을 갖춘 제품을 생산할 수 있을 것으로 예상함.