상세정보
등록 전계효과 트랜지스터의 제조방법
- 출원번호
- 10-2004-0100421 (2004.12.02) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2006-0061627 (2006.06.08)
- 등록번호
- 10-0606290-0000 (2006.07.21)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 04MB1200, 60GHz Pico Cell 통신용 SoP(구:60GHz 광대역 무선 LAN 기술 개발), 조경익
- 초록
- 본 발명은 전계효과 트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로, 다층의 감광막을 이용한 리소그라피 공정, 절연막 건식 식각공정에서의 감광막과 절연막 사이의 건식 식각선택비를 이용하여 서로 다른 문턱전압을 가지는 각기 다른 트랜지스터를 한 기판 상에 동시에 제조함으로써, 모드 또는 문턱전압이 서로 다른 트랜지스터를 동일 기판 상에 제조하는데 있어 별도의 리소그라피 공정과 그에 따른 추가적인 공정 단계를 감소시켜 제조 공정 비용을 감소시키고 소자의 안정성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 전계효과 트랜지스터의 제조방법 | 미국 | |
| 등록 | 전계효과 트랜지스터의 제조방법 | 일본 |