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Detail
Registered 박막 트랜지스터
- Application No.
- 10-2012-0027365 (2012.03.16) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2013-0105165 (2013.09.25)
- Registration No.
- 10-1978835-0000 (2019.05.09)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 10MB6800, 디스플레이용 산화물 반도체 조성 및 고밀도 산화물 반도체 타켓 개발, Cheong Woo-Seok
- Abstract
- 산화물 채널층을 포함하는 박막 트랜지스터를 제공한다. 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 전극에 인접하여 배치된 금속-보론(Boron) 산화물을 포함하는 채널층, 게이트 전극과 채널층 사이의 게이트 절연막, 및 채널층과 결합하는 소스/드레인(source/drain) 영역들을 포함한다.
- KSP Keywords
- Thin-Film Transistor(TFT), thin film(TF)