ETRI-Knowledge Sharing Plaform

KOREAN
특허 검색
Status Country
Year ~ Keyword

Detail

Registered 박막 트랜지스터

박막 트랜지스터
이미지 확대
Inventors
정우석, 정승묵, 신재헌, 김상희, 박장우
Application No.
10-2012-0027365 (2012.03.16) KIPRIS
Publication No.
10-2013-0105165 (2013.09.25)
Registration No.
10-1978835-0000 (2019.05.09)
Country
KOREA
Project Code
10MB6800, 디스플레이용 산화물 반도체 조성 및 고밀도 산화물 반도체 타켓 개발, Cheong Woo-Seok
Abstract
산화물 채널층을 포함하는 박막 트랜지스터를 제공한다. 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 전극에 인접하여 배치된 금속-보론(Boron) 산화물을 포함하는 채널층, 게이트 전극과 채널층 사이의 게이트 절연막, 및 채널층과 결합하는 소스/드레인(source/drain) 영역들을 포함한다.
KSP Keywords
Thin-Film Transistor(TFT), thin film(TF)