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Registered 솔더 온 패드의 제조방법 및 그를 이용한 플립 칩 본딩 방법

솔더 온 패드의 제조방법 및 그를 이용한 플립 칩 본딩 방법
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Inventors
최광성, 엄용성, 배호은, 배현철, 전수정
Application No.
10-2012-0121515 (2012.10.30) KIPRIS
Publication No.
10-2014-0056668 (2014.05.12)
Registration No.
10-1988890-0000 (2019.06.07)
Country
KOREA
Project Code
12MB1600, Wafer Level 3D IC Design and Integration, Choi Kwang-Seong
Abstract
본 발명은 솔더 온 패드의 제조방법을 개시한다. 그의 제조방법은, 패드를 갖는 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판 상에 레진과 솔더 분말을 포함하는 솔더 범프 메이커를 형성하는 단계와, 상기 솔더 범프 메이커를 상기 솔더 분말의 용융점 아래로 가열하여 상기 솔더 분말을 패드 상에 응집시키는 단계와, 상기 레진을 제거하는 단계를 포함한다.
KSP Keywords
Flip-chip bonding, Solder On Pad, chip bonding, flip chip