등록
양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
- 발명자
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이형근, 문승언, 최낙진, 이재우, 김종대, 양우석
- 출원번호
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10-2012-0152405 (2012.12.24)
KIPRIS
- 공개번호
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10-2014-0083159 (2014.07.04)
- 등록번호
- 10-1993782-0000 (2019.06.21)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
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12MB2400, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발,
김종대
- 초록
- 본 발명은 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 센서는, 탄성 박막과, 상기 탄성 박막 상의 발열 저항 층과, 상기 발열 저항 체 상의 층간 절연 층과, 상기 층간 절연 층 상의 상부 감지 층과, 상기 발열 저항 층에서의 열손실을 최소화하기 위해 발열 저항 층에 대응되는 상기 탄성 박막 아래에 배치된 하부 감지 층를 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method, Micro gas sensor, gas sensors
- 패밀리
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