상세정보
등록 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
- 출원번호
- 10-2012-0152405 (2012.12.24) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2014-0083159 (2014.07.04)
- 등록번호
- 10-1993782-0000 (2019.06.21)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 12MB2400, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 김종대
- 초록
- 본 발명은 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 센서는, 탄성 박막과, 상기 탄성 박막 상의 발열 저항 층과, 상기 발열 저항 체 상의 층간 절연 층과, 상기 층간 절연 층 상의 상부 감지 층과, 상기 발열 저항 층에서의 열손실을 최소화하기 위해 발열 저항 층에 대응되는 상기 탄성 박막 아래에 배치된 하부 감지 층를 포함한다.
- KSP 제안 키워드
- Manufacturing method, Micro gas sensor, gas sensors
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법 | 미국 |