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등록 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법

양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
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발명자
이형근, 문승언, 최낙진, 이재우, 김종대, 양우석
출원번호
10-2012-0152405 (2012.12.24) KIPRIS
공개번호
10-2014-0083159 (2014.07.04)
등록번호
10-1993782-0000 (2019.06.21)
출원국
대한민국
협약과제
12MB2400, 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발, 김종대
초록
본 발명은 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 센서는, 탄성 박막과, 상기 탄성 박막 상의 발열 저항 층과, 상기 발열 저항 체 상의 층간 절연 층과, 상기 층간 절연 층 상의 상부 감지 층과, 상기 발열 저항 층에서의 열손실을 최소화하기 위해 발열 저항 층에 대응되는 상기 탄성 박막 아래에 배치된 하부 감지 층를 포함한다.
KSP 제안 키워드
Manufacturing method, Micro gas sensor, gas sensors
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