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Registered 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법
- Application No.
- 10-2012-0152405 (2012.12.24) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2014-0083159 (2014.07.04)
- Registration No.
- 10-1993782-0000 (2019.06.21)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 12MB2400, Development of self-powered smart sensor node platform for smart&green building, Kim Jongdae
- Abstract
- 본 발명은 양면 마이크로 가스 센서 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 센서는, 탄성 박막과, 상기 탄성 박막 상의 발열 저항 층과, 상기 발열 저항 체 상의 층간 절연 층과, 상기 층간 절연 층 상의 상부 감지 층과, 상기 발열 저항 층에서의 열손실을 최소화하기 위해 발열 저항 층에 대응되는 상기 탄성 박막 아래에 배치된 하부 감지 층를 포함한다.
- KSP Keywords
- Manufacturing method, Micro gas sensor, gas sensor
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | DUAL-SIDE MICRO GAS SENSOR AND METHOD OF FABRICATING THE SAME | UNITED STATES |