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등록 쇼트키 다이오드 및 그의 제조방법

쇼트키 다이오드 및 그의 제조방법
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발명자
서동우, 전린, 루웨이, 김용준
출원번호
10-2013-0149225 (2013.12.03) KIPRIS
공개번호
10-2015-0064780 (2015.06.12)
등록번호
10-1940234-0000 (2019.01.14)
출원국
대한민국
협약과제
13ME1200, 실리콘 MIR 광 검출기 신기술, 서동우
초록
본 발명은 쇼트키 다이오드 및 그의 제조방법을 개시한다. 쇼트키 다이오드는, 기판과, 상기 기판 상의 코어와, 상기 코어 상의 금속 층과, 상기 금속 층 및 상기 기판 사이의 상기 코어를 둘러싸고, 상기 코어와 상기 금속 층 사이에 쇼트키 접합을 형성토록 상기 코어의 페르미 에너지 준위를 조절하는 쉘을 포함한다.
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