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등록 반도체 소자 및 그 제작 방법

반도체 소자 및 그 제작 방법
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발명자
안호균, 임종원, 김해천, 민병규, 권용환, 이종민, 조규준, 김진식, 윤형섭, 김성일, 이경호, 남은수, 강동민
출원번호
10-2014-0078693 (2014.06.26) KIPRIS
공개번호
10-2016-0001744 (2016.01.07)
등록번호
10-2135163-0000 (2020.07.13)
출원국
대한민국
협약과제
13DR1400, Ka대역 GaN MMIC 기반 SSPA 개발 , 노윤섭
초록
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자는, 기판, 상기 기판 위에 형성되는 활성층, 상기 활성층 위에 형성되며 제1 개구부를 갖는 보호층, 상기 보호층 위에 형성되는 소스 전극, 구동 게이트 전극 및 드레인 전극 및 상기 제1 개구부 위에 형성되는 제1 추가 게이트 전극을 포함하며, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극 및 상기 구동 게이트 전극에 각각 인가되는 전압으로 인해 상기 활성층, 상기 보호층 및 상기 구동 게이트 전극에 전기장이 인가되며, 상기 제1 추가 게이트 전극은 상기 활성층, 상기 보호층 및 상기 구동 게이트 전극 중 적어도 일부에 인가되는 전기장의 크기를 감쇄시킨다.
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