14PB2100, AMOLED 박막봉지용 Non-ALD 방식 저결함, 고생산성 무기박막 Passivation 장비 개발,
황치선
초록
상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법은 기판 상의 투명전극, 상기 투명전극 상의 유기물층, 상기 유기물층 상의 금속 전극, 상기 금속 전극 상의 광발광층, 및 상기 광발광층 상의 보호막을 포함하는 유기전자소자에 검사광을 조사하는 것, 및 상기 검사광의 조사에 의해 상기 광발광층에서 생성된 방출광을 검출하는 것을 포함할 수 있다. 상기 보호막은 그의 내부 또는 상면에 결함을 포함하되, 상기 방출광은 상기 결함을 투과하는 제 1 방출광, 및 결함을 포함하지 않는 영역을 투과하는 제 2 방출광을 포함할 수 있다. 상기 결함은 상기 제 1 및 2 방출광들의 세기의 차이에 의해 검출될 수 있다.
한국전자통신연구원 지식공유플랫폼에서 제공하는 모든 저작물(각종 연구과제, 성과물 등)은 저작권법에 의하여 보호받는 저작물로 무단복제 및 배포를 원칙적으로 금하고 있습니다. 저작물을 이용 또는 변경하고자 할 때는 다음 사항을 참고하시기 바랍니다.
저작권법 제24조의2에 따라 한국전자통신연구원에서 저작재산권의 전부를 보유한 저작물의 경우에는 별도의 이용허락 없이 자유이용이 가능합니다. 단, 자유이용이 가능한 자료는 "공공저작물 자유이용허락 표시 기준(공공누리, KOGL) 제4유형"을 부착하여 개방하고 있으므로 공공누리 표시가 부착된 저작물인지를 확인한 이후에 자유이용하시기 바랍니다. 자유이용의 경우에는 반드시 저작물의 출처를 구체적으로 표시하여야 하고 비영리 목적으로만 이용이 가능하며 저작물을 변형하거나 2차 저작물로 사용할 수 없습니다.
<출처표시방법 안내> 작성자, 저작물명, 출처, 권호, 출판년도, 이용조건 [예시1] 김진미 외, "매니코어 기반 고성능 컴퓨팅을 지원하는 경량커널 동향", 전자통신동향분석, 32권 4호, 2017, 공공누리 제4유형 [예시2] 심진보 외, "제4차 산업 혁명과 ICT - 제4차 산업 혁명 선도를 위한 IDX 추진 전략", ETRI Insight, 2017, 공공누리 제 4유형
공공누리가 부착되지 않은 자료들을 사용하고자 할 경우에는 담당자와 사전협의한 이후에 이용하여 주시기 바랍니다.