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등록 유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법

유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법
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발명자
이현구, 황치선
출원번호
10-2015-0038333 (2015.03.19) KIPRIS
공개번호
10-2016-0113407 (2016.09.29)
등록번호
10-2222724-0000 (2021.02.25)
출원국
대한민국
협약과제
14PB2100, AMOLED 박막봉지용 Non-ALD 방식 저결함, 고생산성 무기박막 Passivation 장비 개발, 황치선
초록
상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법은 기판 상의 투명전극, 상기 투명전극 상의 유기물층, 상기 유기물층 상의 금속 전극, 상기 금속 전극 상의 광발광층, 및 상기 광발광층 상의 보호막을 포함하는 유기전자소자에 검사광을 조사하는 것, 및 상기 검사광의 조사에 의해 상기 광발광층에서 생성된 방출광을 검출하는 것을 포함할 수 있다. 상기 보호막은 그의 내부 또는 상면에 결함을 포함하되, 상기 방출광은 상기 결함을 투과하는 제 1 방출광, 및 결함을 포함하지 않는 영역을 투과하는 제 2 방출광을 포함할 수 있다. 상기 결함은 상기 제 1 및 2 방출광들의 세기의 차이에 의해 검출될 수 있다.