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상세정보

등록 신축성 배선의 제조 방법 및 신축성 집적회로의 제조 방법

신축성 배선의 제조 방법 및 신축성 집적회로의 제조 방법
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발명자
박찬우, 구재본, 나복순, 정순원, 오지영, 이상석, 박래만
출원번호
10-2016-0008220 (2016.01.22) KIPRIS
공개번호
10-2017-0023383 (2017.03.03)
등록번호
10-2333170-0000 (2021.11.25)
출원국
대한민국
협약과제
15MB1600, 미래광고 서비스를 위한 에너지절감형 환경적응 I/O (Input/Output) 플랫폼 기술 개발, 황치선
초록
본 발명은 기판 상의 포토레지스트 층의 일부를 제거하여, 적어도 하나의 패턴 슬릿을 포함하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 것; 상기 포토레지스트 패턴 상에 액상 전도성 물질을 도포하여, 상기 패턴 슬릿 내에 액상 전도성 구조체를 형성하는 것; 상기 포토레지스트 패턴을 제거한 후, 상기 액상 전도성 구조체 상에 신축 가능한 제1 절연 층을 형성하는 것; 및 상기 액상 전도성 구조체 및 상기 제1 절연 층을 상기 기판으로부터 분리하는 것을 포함하는 신축성 배선의 제조 방법 및 신축성 집적 회로의 제조 방법에 관한 것이다.
KSP 제안 키워드
Integrated circuit, stretchable wire
패밀리
 
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구분 특허 출원국 KIPRIS
등록 신축성 배선체의 구현 방법 미국