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Registered 신축성 배선의 제조 방법 및 신축성 집적회로의 제조 방법

신축성 배선의 제조 방법 및 신축성 집적회로의 제조 방법
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Inventors
박찬우, 구재본, 오지영, 정순원, 박래만, 나복순, 이상석
Application No.
10-2016-0008220 (2016.01.22) KIPRIS
Publication No.
10-2017-0023383 (2017.03.03)
Registration No.
10-2333170-0000 (2021.11.25)
Country
KOREA
Project Code
15MB1600, The core technology development of light and space adaptable energy-saving I/O (Input/Output) platform for future advertising service, Hwang Chi-Sun
Abstract
본 발명은 기판 상의 포토레지스트 층의 일부를 제거하여, 적어도 하나의 패턴 슬릿을 포함하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 것; 상기 포토레지스트 패턴 상에 액상 전도성 물질을 도포하여, 상기 패턴 슬릿 내에 액상 전도성 구조체를 형성하는 것; 상기 포토레지스트 패턴을 제거한 후, 상기 액상 전도성 구조체 상에 신축 가능한 제1 절연 층을 형성하는 것; 및 상기 액상 전도성 구조체 및 상기 제1 절연 층을 상기 기판으로부터 분리하는 것을 포함하는 신축성 배선의 제조 방법 및 신축성 집적 회로의 제조 방법에 관한 것이다.
KSP Keywords
Integrated circuit, stretchable wire
Family
 
패밀리 특허 목록
Status Patent Country KIPRIS
Registered METHOD FOR MANUFACTURING STRETCHABLE WIRE AND METHOD FOR MANUFACTURING STRETCHABLE INTEGRATED CIRCUIT UNITED STATES