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Registered 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법

고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법
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Inventors
이종민, 민병규, 윤형섭, 임종원, 김성일, 김동영, 정현욱, 주철원, 강동민, 도재원, 조규준, 김해천, 안호균, 이상흥
Application No.
10-2016-0084160 (2016.07.04) KIPRIS
Publication No.
10-2017-0053559 (2017.05.16)
Registration No.
10-2295543-0000 (2021.08.24)
Country
KOREA
Project Code
14PB5600, Development of Core Modules and Transceiver for Digital Wireless Communications Based on Software, Hyung Sup Yoon
Abstract
본 발명은 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 이에 따른 본 발명은, 기판상에 전이층, 버퍼층, 배리어층 및 보호층을 순차로 형성하는 단계, 상기 보호층의 제1 영역을 식각하여 패터닝하는 단계 및 상기 보호층의 패터닝에 의하여 노출된 상기 배리어층의 상기 제1 영역에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제1 영역은, 상기 적어도 하나의 전극 형성을 위한 영역이고, 상기 보호층은, 소자의 트랩 효과 및 누설 전류를 방지하기 위해 상기 배리어층 보다 넓은 밴드갭을 갖는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법 및 그 전계효과 전력 소자에 관한 것이다.
KSP Keywords
High Reliability, Manufacturing method, Power device, field effect
Family
 
패밀리 특허 목록
Status Patent Country KIPRIS
Registered HIGH RELIABILITY FIELD EFFECT POWER DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF UNITED STATES