상세정보
등록 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법
- 출원번호
- 10-2016-0084160 (2016.07.04) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0053559 (2017.05.16)
- 등록번호
- 10-2295543-0000 (2021.08.24)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 14PB5600, SW기반 디지털 무선통신용 핵심 모듈 및 트랜시버 개발, 윤형섭
- 초록
- 본 발명은 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 이에 따른 본 발명은, 기판상에 전이층, 버퍼층, 배리어층 및 보호층을 순차로 형성하는 단계, 상기 보호층의 제1 영역을 식각하여 패터닝하는 단계 및 상기 보호층의 패터닝에 의하여 노출된 상기 배리어층의 상기 제1 영역에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제1 영역은, 상기 적어도 하나의 전극 형성을 위한 영역이고, 상기 보호층은, 소자의 트랩 효과 및 누설 전류를 방지하기 위해 상기 배리어층 보다 넓은 밴드갭을 갖는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법 및 그 전계효과 전력 소자에 관한 것이다.
- KSP 제안 키워드
- High Reliability, Manufacturing method, Power device, field effect
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 고신뢰성 전계효과 전력소자 | 미국 |