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Registered 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법
- Application No.
- 10-2016-0084160 (2016.07.04) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0053559 (2017.05.16)
- Registration No.
- 10-2295543-0000 (2021.08.24)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 14PB5600, Development of Core Modules and Transceiver for Digital Wireless Communications Based on Software, Hyung Sup Yoon
- Abstract
- 본 발명은 고신뢰성 전계효과 전력 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 이에 따른 본 발명은, 기판상에 전이층, 버퍼층, 배리어층 및 보호층을 순차로 형성하는 단계, 상기 보호층의 제1 영역을 식각하여 패터닝하는 단계 및 상기 보호층의 패터닝에 의하여 노출된 상기 배리어층의 상기 제1 영역에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제1 영역은, 상기 적어도 하나의 전극 형성을 위한 영역이고, 상기 보호층은, 소자의 트랩 효과 및 누설 전류를 방지하기 위해 상기 배리어층 보다 넓은 밴드갭을 갖는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법 및 그 전계효과 전력 소자에 관한 것이다.
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | HIGH RELIABILITY FIELD EFFECT POWER DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | UNITED STATES |