상세정보
등록 압력 센서 및 그 제조 방법
- 출원번호
- 10-2016-0021344 (2016.02.23) KIPRIS
- 공개번호
- 10-2017-0099454 (2017.09.01)
- 등록번호
- 10-2279354-0000 (2021.07.14)
- 출원국
- 대한민국
- 협약과제
- 15ZB1500, 환경 및 사용자 적응형 MEMS 마이크로폰 솔루션 개발, 양우석
- 초록
- 그의 내부에 캐비티를 갖는 기판, 상기 기판 내에 배치되고, 상기 캐비티를 둘러싸는 격벽, 상기 기판의 상기 상면 상에 배치되고, 상기 캐비티의 상단을 덮는 기판 절연층, 상기 기판 절연층 상에 배치되는 감지부, 및 상기 기판 절연층 상에 배치되어 상기 감지부를 덮는 봉지층을 포함하는 압력 센서를 제공하되, 상기 캐비티는 상기 기판의 상면으로부터 하면을 향하여 형성되고, 상기 격벽은 상기 캐비티에 의해 노출되는 내측벽을 갖고, 상기 감지부의 적어도 일부는 평면적으로 상기 캐비티와 중첩될 수 있다.
- KSP 제안 키워드
- Pressure Sensor
- 패밀리
| 구분 | 특허 | 출원국 | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| 등록 | 기판 일체형 진공캐비티를 갖는 멤스 센서 | 미국 |