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Detail
Registered PRESSURE SENSOR AND THE METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
- Inventors
- Chang Han Je, Yang Woo Seok, Lee Sung Q, Chang Auck Choi
- Application No.
- 10-2016-0021344 (2016.02.23) KIPRIS
- Publication No.
- 10-2017-0099454 (2017.09.01)
- Registration No.
- 10-2279354-0000 (2021.07.14)
- Country
- KOREA
- Project Code
- 15ZB1500, Development of Environment & UserAdaptable MEMS Microphone Solution, Yang Woo Seok
- Abstract
- 그의 내부에 캐비티를 갖는 기판, 상기 기판 내에 배치되고, 상기 캐비티를 둘러싸는 격벽, 상기 기판의 상기 상면 상에 배치되고, 상기 캐비티의 상단을 덮는 기판 절연층, 상기 기판 절연층 상에 배치되는 감지부, 및 상기 기판 절연층 상에 배치되어 상기 감지부를 덮는 봉지층을 포함하는 압력 센서를 제공하되, 상기 캐비티는 상기 기판의 상면으로부터 하면을 향하여 형성되고, 상기 격벽은 상기 캐비티에 의해 노출되는 내측벽을 갖고, 상기 감지부의 적어도 일부는 평면적으로 상기 캐비티와 중첩될 수 있다.
- KSP Keywords
- Pressure Sensor
- Family
| Status | Patent | Country | KIPRIS |
|---|---|---|---|
| Registered | PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME | UNITED STATES |